產(chǎn)品用途該設(shè)備主要適用于半導體材料如4"~8"硅片及其它硬脆材料的高速高精度多片切割加工。產(chǎn)品特點1.該設(shè)備具有精密溫度控制系統(tǒng),切片精度高,翹曲度小,切片質(zhì)量穩(wěn)定,切割成本小。2.收、放線系統(tǒng)采用全伺服電機驅(qū)動,導輪使用少,路徑簡短,穩(wěn)定可靠,裝配維修迅速。3.電氣控制系統(tǒng),該設(shè)備采用貝加萊的PCC控制系統(tǒng)及伺服驅(qū)動系統(tǒng),控制精度高、響應速度快,并具有能量回饋功能,降低了運行成本;齊備的工藝參數(shù)設(shè)置顯示,擁有20套20步的切割工藝,**大限度的發(fā)揮設(shè)備硬件功能;另有自定義選項,用于滿足客戶的特殊操作要求;并可選配工廠網(wǎng)絡(luò)接口,可實現(xiàn)遠程監(jiān)控。4.主軸系統(tǒng)采用雙球面頂緊線輥結(jié)構(gòu);采用機械、氣簾、唇圈復合密封結(jié)構(gòu),采用脂潤滑方式,安裝維護方便,軸承座外周設(shè)有冷水套,對軸承進行強制冷卻。5.為了適應多晶材料切片,本設(shè)備設(shè)置了分網(wǎng)機構(gòu),根據(jù)硅碇的長度調(diào)節(jié)各導輪位置將線網(wǎng)分割成適宜硅碇長度區(qū)域,從而實現(xiàn)多塊多晶硅碇切片切頭的復合加工。主要技術(shù)參數(shù)1、加工能力(寬×高×長):156mm×156mm×250mm(4根) 156mm×156mm×500mm(2根)2、導輪線卷線寬度:φ250×510×2軸軸間距離:650mm切割線速度:**大15m/s3、切割線直徑:φ0.10mm~φ0.18mm恒定張力:15.0N~40.0N(**小單位:0.1N)切割線方向:雙向或單向4、工作臺升降行程:**大300mm工作臺移動速度(五級可設(shè)定):0.05-200mm/min5、供砂系統(tǒng)砂桶容量:400L控制溫度:設(shè)定±2℃6、電機導輪驅(qū)動電機:55kw切割線供給/回收電機:2×15kw繞線排線電機:450w工作臺升降機:2kw張力控制電機:1.8kw砂漿泵電機:7.5kw砂漿攪拌電機:1.5kw7、外形尺寸(長×寬×高):3500mm×2000mm×3200mm8、重量:約12000kg設(shè)備配置表
序號 | 名稱 | 型號規(guī)格 | 總數(shù)量 | 供貨狀態(tài) | 備注 |
1 | 主機 | | 1 | 標配 | |
2 | 切割輥 | | 2件/ 套 | 標配 | 裝在主機上 |
3 | 收線輥 | | 1 | 標配 | 裝在主機上 |
4 | 大導線輪 | | 2(4件/套) | 標配 | 裝一套,備一套 |
5 | 小導線輪 | | 2(4件/套) | 標配 | 裝一套,備一套 |
6 | 粘料板 | | 3(2件/套) | 標配 | 裝一套,備兩套 |
7 | 供液桶 | 300L | 1套 | 標配 | |
8 | 扭力扳手 | 120-300NM | 1個 | 標配 | 拆裝切割輥 |
9 | 扭力扳手 | 5-25NM | 1個 | 標配 | 預緊主軸軸承 |
10 | 專用套筒扳手 | | 1套/兩種 | 標配 | 拆卸切割輥/收放線輥 |
11 | 內(nèi)六方扳手 | 12件套 | 1套 | 標配 | |
12 | 螺絲刀 | 4” | 1套 | 標配 | “一”字“十”字各一 |
13 | 活扳手 | 24” | 1件 | 標配 | |
14 | 上、下料工裝 | | 1套 | 選配 | 視用戶定制 |
15 | 切割鋼線 | TA100/BS200 | | 選配 | 用戶訂購 |
16 | 水冷機組 | >40KW | | 選配 | 用戶定制 |
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